芯联集成获得实用新型专利授权：“原位检测装置以及研磨设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯联集成（688469）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“原位检测装置以及研磨设备”，专利申请号为CN202520430161.8，授权日为2026年2月27日。

专利摘要：本实用新型提供一种原位检测装置以及研磨设备，原位检测装置包括：机械台，设置于吸盘与晶圆之间；机械台沿平行于所述晶圆的方向可移动；机械台上设有检测单元，用于在研磨过程中实时获取检测光反射后的光强值；检测单元具有发射端和接收端；发射端和接收端一一对应地设置；发射端用于向晶圆提供检测光，检测光经晶圆的背面入射，并于晶圆上的膜层表面反射，形成反射光，接收端用于接收反射光。如此配置，通过将检测单元设置在吸盘和晶圆之间，使得检测光能够于晶圆的背面入射，检测单元和检测光均不受研磨垫磨损、研磨液扰动等外界因素的影响，提升了检测精度；同时，通过设置可移动的机械台，能够持续对指定位置进行原位检测。

今年以来芯联集成新获得专利授权6个，较去年同期减少了25%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了9.64亿元，同比增10.93%。

通过天眼查大数据分析，芯联集成电路制造股份有限公司共对外投资了19家企业，参与招投标项目1737次；财产线索方面有商标信息16条，专利信息797条，著作权信息3条；此外企业还拥有行政许可43个。

数据来源：天眼查APP

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